傳感器是工業自動化控制領域很重要的部件，目前，我國高性能傳感器基本依賴進口，嚴重阻礙了相關變送器產品的開發和生產，牽制和影響了民族產業的發展。在國家“863”計劃、國家中小企業創新基金、科技部新產品專項基金的支持下，沈陽儀表科學研究院研制成功硅電容、硅壓阻復合傳感器。該院是傳感器國家工程研究中心的依托單位，傳感器生產的工藝條件、設備條件在國內處于領先地位。科研人員通過技術攻關，突破了影響傳感器性能的多項工藝難點和關鍵技術，研制出的高性能硅電容差壓傳感器，具有自補償效應，核心元件采用微機械加工技術，溫度范圍寬，精度高，穩定性好，成功實現了新型高性能傳感器的自主開發和智能變送器核心部件的自主配套。硅壓阻復合傳感器，是能同時感受兩種或兩種以上不同被測量參數并轉換成可用信號輸出的傳感器，滿足了工業智能儀表用傳感器的需求。這兩種產品的問世并實現產業化，提升了我國壓力傳感器、變送器的性能檔次，縮小了儀表行業與國外產品差距，填補了我國自主生產智能儀表的空白。 

　　據了解，沈陽儀表科學研究院已經在沈陽高新區投資7000萬元，建設產業化生產基地，明年下半年投入生產后，將形成傳感器及配套儀表產品批量生產能力。