1、首先要了解真空泵的類型、特點、現在狀況。了解使用要求，確定修理目標。在進行維修之前，準備好檢測手段。 
　　2、判斷真空泵故障，確診故障。判斷準，可省事。確診要驗證。 
　　3、排除油泵故障，先簡后繁，先易后難。無須拆卸的不拆。以減少由于缺少專用工具和操作不當引起新的損傷，減少位置變化和跑合運轉時間。一般的說，拼接式轉子是不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉子就報廢了。 
　　4、有毒有害、有腐蝕性的真空泵，應請用戶先行清洗，并告知必要的防護措施，以保障維修人員的健康。 
　　5、干式真空泵故障分類 
　　建議把故障分為運轉故障和性能故障。 
　　運轉故障可包括泵不轉，泵溫太高，漏油，漏水，最大功率超標等。 
　　性能故障可包括極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪聲、噴油、氣鎮性能等不達標或不能滿足要求。 
　　6、故障判斷與診斷例舉 
　　(1)真空泵不轉。情況不明不能先開泵，以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。 
　　①真空泵泵能盤動而不轉。原因可以是聯軸器故障;皮帶打滑;電機接線有誤;電機損壞;電源沒電等。 
　　②不能盤動或盤起來很重的，原因可以是因為起動泵溫太低，泵油粘度太高;設計制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝結，或在排氣管中凝結的水流回泵中);有異物在泵內(進氣管中的焊渣、氧化物;旋片彈簧等泵零件的碎屑;旋片變形卡住;發生了咬合(銅套、轉子、中壁、泵蓋、定子、軸承)。 
　　(2)真空泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的最高油溫超過使用說明書規定值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降，并使泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運轉間隙縮小，特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內孔間隙，影響泵運轉的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵環境溫度太高，進氣溫度太高，進氣冷卻裝置失效，泵長期連續運轉入口壓力太高;水冷泵冷卻水量不足，循環水設計效果不佳;溫控水量調節閥失效等。 
　　(3)進口真空泵漏油。可以發生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮閥(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安裝不當，損壞失效，表面不平整、有雜質、粗糙和鑄件疏松等引起。如果停泵后返油，油會進入氣鎮閥，不關氣鎮閥可能會漏油。 
　　自制橡膠墊時，一定要用耐油橡膠，要按照原設計形狀，密封面太大時壓不緊會漏油。 
　　(4)進口真空泵漏水可以發生在水管接頭，水套悶蓋平面，放水孔螺塞，放水閥等處，水套鉆穿，鑄件缺陷，凍裂，也可能導致漏水。 
　　(5)大功率超標。可由長期連續作入口壓力太高、排氣壓力太高、雜物進人發生咬合、泵溫太高、旋片等配合間隙太小、電壓太高、泵液返入泵內太多等引起，會使電機損壞。應盡量避免在最大功率附近長期連續運轉。如果表面有沉積物，要定期拆開清除。 
　　(6)干泵極限壓力不達標。 
　　可由外漏、內漏、油孔堵塞、泵油質量不良或污染變質、有水汽等可凝性物質、儀器儀表失真、真空泵運轉不正常等引起。 
　　外漏較多時，排氣口可看到白色蒸汽。油標處有較多氣泡，手在排氣口上可感到排氣壓力。低級排氣閥處油面有較多氣泡。功率會有所增加。這時，首先應檢查氣鎮閥是否已關好。由于新泵出廠每臺都在泵口測極限壓力，所以如有外漏現象，應對泵口及管道、閥門、容器逐一檢查。外軸封失效、油杯無油、油孔悶頭漏氣也可造成外漏。內漏可由泵內的運動間隙、排氣閥座平面、排氣閥的密封面、內軸封、泵蓋平面、進氣管、氣鎮閥密封件等引起。磨損、腐蝕、咬合會使運轉間隙加大。油孔阻塞時，打開加油孔聽，泵的噪聲會較輕，在油箱密封良好的情況下，如果手在排氣口上有被吸的感覺，排氣閥可能失效。 
　　如果真空泵油清潔，長期存放未用，可開氣鎮閥凈化泵內水汽。若無效，要檢杏儀表。若泵油發黃發白已乳化，可全開氣鎮，調大氣鎮量凈化運轉，必要時可在泵口放入適量氣體運轉，可加快凈化過程。若抽入其他揮發性氣體或液體，要及時換油，必要時請洗油箱。有些泵，在級間氣道里會沉積泵液，為取得好的換油效果，要設法把沉積泵液排出。 
　　極限壓力是用座式壓縮式水銀真空計測量的。 
　　用經校準的熱偶真空計等全壓力計測量時，測得值會增加。注意熱偶真空計的規管要配對校準。建議備用一只同時校準的規管，以備懷疑規管污染失真時進行對比。 
　　極限壓力升高會使高真空時段的抽氣效率下降，也會使極限全壓力升高。可以參照上述介紹來判斷、檢查、處理抽氣效率下降和極限全壓力升高的故障。 
　　(7)真空泵噪聲大。泵的結構設計，電機與泵軸承的噪聲，旋片等運動件是否滑暢、進油量太多、風扇、傳動件產生的噪聲、進氣量大，開氣鎮運轉、擋油板等泵內零件