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高性能X射線熒光鍍層厚度測量儀 SFT9550X
的高功能化、小型化的發(fā)展，連接器和導(dǎo)線架等電子部件也逐漸微細(xì)化了。與此同時，電鍍・蒸鍍等金屬薄膜厚度的測量也要求達(dá)到幾十微米的極微小部位測量以及達(dá)到納米等級的精度。SFT9500X系列通過新型X射線聚光系統(tǒng)（毛細(xì)管）和X射線源的組合，可達(dá)到照射直徑30μmφ的高能量X射線束照射。以往的X射線熒光膜厚儀由于照射強(qiáng)度不足而無法獲得足夠的精度，而SFT9500X系列則可以對導(dǎo)線架、連接器、柔性線路板等的極微小部位進(jìn)行準(zhǔn)確、迅速的測量。
SIINT于1978年在世界上率先推出了臺式X射線膜厚儀，而后在日本國內(nèi)及世界各地進(jìn)行廣泛銷售，得到了顧客很高的評價。此次推出的SFT9500X系列是一款凝聚了長期積累起來的X射線微小部位測量技術(shù)的高性能X射線熒光膜厚儀。今后將在電子零部件、金屬材料、鍍層加工等領(lǐng)域進(jìn)行銷售，對電子儀器的性能・品質(zhì)的提高作出貢獻(xiàn)。
SFT9500X系列的主要特征
1. 極微小部位的薄膜・多層膜測量
通過采用新型的毛細(xì)管（X射線聚光系統(tǒng)）和X射線源，把與以往機(jī)型（SFT9500）同等強(qiáng)度的X射線聚集在30μmφ的極微小范圍。因此，不會改變測量精度即可測量幾十微米等級的微小范圍。同時，也可對幾十納米等級的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進(jìn)行高精度測量。
2.掃描測量
通過微小光束對樣品進(jìn)行XY掃描，可把樣品的鍍層厚度分布和特定元素的含量分布輸出為二維掃描圖像數(shù)據(jù)，更方便進(jìn)行簡單快速的觀察。
3. 異物分析
通過高能量微小光束和高計數(shù)率檢測器的組合，可進(jìn)行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線，通過與正常部分的能譜差進(jìn)行異物的定性分析（Al～U）。
SFT9500X系列的主要產(chǎn)品規(guī)格
SFT9500X SFT9550X 樣品臺尺寸 175×240 mm 330×420 mm 樣品臺移動量 150×220×150 mm 300×400×50 mm 被測樣品尺寸（最大） 500×400×145 mm 820×630×45 mm X 射 線 源 空冷式小型X射線管（最大50kV，1mA） 檢 測 器 Vortex半導(dǎo)體檢測器（無需液氮） 照 射 直 徑 最小30μmφ 樣 口 觀 察 CCD攝像頭（附變焦功能） 樣 品 對 焦 激光點(diǎn) 濾 波 器 Au極薄膜測量用濾波器 操 作 部 電腦、19英寸液晶顯示器 測 量 軟 件 薄膜FP法、薄膜検量線法 選 配 能譜匹配軟件、紅色顯示燈、打印機(jī) 測 量 功 能 自動測量、中心搜索 數(shù) 據(jù) 處 理 Microsoft® Excel、Microsoft® Word（配備統(tǒng)計處理；測量數(shù)據(jù)、平均值、最大・最小值、CV值、Cpk值等測量結(jié)果報告制作（包含樣品圖像）） 安 全 功 能 樣品室門安全鎖、儀器診斷功能
（寬）×（長）
（X）×（Y）×（Z）
（寬）×（長）×（厚度）
