通過與導槽并用的方式設定落座位置

與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂

獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架

采用抗干擾光的變調光方式

使用環保導線（無滑石粉）