LED型晶圓校準傳感器 HD-T1
使用安全的LED光確保分辨率30μm下的高精度檢測
特點
無需任何安全措施
使用安全的紅色LED作為光源,無需任何繁雜的安全措施。無需使用激光時必備的保護罩,在美國使用時不需要符合FDA標準。
施工簡便
使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降至*低限度,維護輕松。
|
|
低消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現光電傳感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
雖然使用紅色LED作為光源,但仍然具有激光傳感器同樣的高性能,因此可實現高精度檢測。
無需光軸調整
投、受光部一體型,無需繁瑣的光軸調整。并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域,可對應各種不同尺寸的晶圓。
配備系數和偏移量調整功能
模擬輸出(1~5V)除了系數調整功能之外,還具備方便的偏移調整功能,可在±0.5V的范圍內轉換模擬電壓。
|
|
種類
檢測頭
形狀 |
檢測距離 |
檢測寬度 |
型號 |
|
30mm(固定)
(注1) |
30mm |
HD-T1030 |
控制器
檢測頭與控制器必須配套使用。
形狀 |
型號 |
輸出 |
|
HD-T1C |
模擬電壓
輸出電壓:1~5V |