CR系列泛半導體設備用機械手是韓國Cyborg Lab公司設計生產的產品,主要用于潔凈室內大氣環境下半導體硅片或LCD玻璃基板的水平搬運。韓國Cyborg Lab公司擁有15年以上的半導體用機械手產品設計與生產經驗,產品質量穩定,性能可靠。CR系列硅片搬運機械手的主要特點如下:
• 靈活可配置的模塊化設計
• 重復定位精度優于0.05mm
• 機身設計緊湊,占地面積小,滿足凈化室設備的使用要求
• 潔凈度要求可達Class One
• 可根據客戶要求進行定制設計
CR系列產品主要用于半導體硅片搬運、液晶面板搬運、LED硅片搬運、MEMS硅片搬運等領域,目前沈陽芯源、北京七星、上海新陽等客戶已經選用。