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發布信息

國產激光干涉儀

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品牌: 中圖儀器
穩頻精度: 0.05ppm
單價: 面議
所在地: 廣東 深圳市
有效期至: 長期有效
最后更新: 2023-07-06 14:56
瀏覽次數: 772
詢價
店鋪基本資料信息
 
產品詳細說明
激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點,激光干涉儀,則是以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀是激光在計量領域中*成功的應用之一。


國產激光干涉儀(SJ6000)采用高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術,實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光輸出;采用高精度環境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術,結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量;結合相應鏡組還能實現角度、直線度(平行度)、平面度、垂直度、回轉軸等參數的測量,并進行動態分析。

國產激光干涉儀(SJ6000)工作原理:
激光干涉儀發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

6000-5

國產激光干涉儀(SJ6000)技術參數:

      系統性能

²    測量方式:單頻

²    穩頻精度:0.05ppm

²    動態采集頻率:50 kHz

²    預熱時間:約6分鐘

²    工作溫度范圍:(0~40)℃

²    環境溫度范圍:(0~40)℃,環境濕度:(0~95)%RH

²    存儲溫度范圍:(-20~70)℃

      環境補償示值誤差

²    空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

²    材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

²    空氣濕度傳感器:±6%RH  (0~95) %RH

²    大氣壓力傳感器:±0.1kPa

      線性測量

²    測量距離:(0~40)m

²    測量精度:0.5ppm (0~40)℃

²    測量分辨力:1nm

²    測量*大速度:4m/s

      角度測量

²    軸向量程:(0~15)m

²    測量范圍:±10°

²    測量精度:±(0.04%R)″ (R為顯示值,單位:″)

²    測量分辨力:0.1″


      平面度測量

²    軸向量程:(0~15)m

²    測量范圍:±1.5 mm

²    測量精度:±(0.6%R+0.02 M2) μm  (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)

²    基板尺寸:180mm可調,360mm可調

測量分辨力:0.1μm

      直線度測量

²    軸向量程:(0.1~4.0)m

²    測量范圍:±3mm

²    測量精度:±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm  (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)

²    測量分辨力:0.01μm

      垂直度測量

²    軸向量程:(0.1~3.0)m

測量范圍:±3mm

²    測量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)

²    測量分辨力:0.01μm/m

      回轉軸精度測量

²    角度測量范圍:(0~360)°

²    測量精度:±1″

*高轉速:10rpm

鋰電池供電,藍牙傳輸數據。

 

 

 

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