NT系列機器人
長伸展距離水平手臂
NT系列無塵機器人設計的目的是讓一個機器人可以伸展開來管護多達四個FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設計,以400晶片每小時(WPH)的速率來搬運300mm或450mm晶圓,而沒有使用校準器。
卓越的伸展距離單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個。高吞吐量標準NT機器人的吞吐量是用校準器280晶圓每小時(WPH)與不用校準器400WPH?捎眠x配的抓手,增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合規NT型號可以瞬時響應電波動,如電壓下降,并且在電壓恢復時自動恢復運行。SEMI S2合規NT型號可以滿足對環境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能,以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。懸掛式安裝NT620型號具有吊裝規格設計,用于在化學液體環境中使用,同時滿足ISO1級的要求。
NT系列機器人規格
型號 |
NT410 |
NT420 |
NT510 |
NT520 |
NT620 |
構造 |
水平多關節型 |
自由度 |
4 軸 |
5 軸 |
4 軸 |
5 軸 |
5 軸 |
運動范圍 |
θ1 軸
(旋轉JT2) |
340° |
340° |
340° |
340° |
340° |
Z 軸
(上下JT3) |
400 mm |
400 mm |
470 mm |
470 mm |
600 mm |
θ2 軸
(旋轉JT4) |
340° |
340° |
340° |
340° |
340° |
H1 軸
(旋轉JT6) |
340° (380°) *2 |
340° (380°) *2 |
340° (380°) *2 |
340° (380°) *2 |
340° (380°) *2 |
H2 軸
(旋轉JT7) |
- |
340° |
- |
380° |
380° |
*大伸展距離 |
1,230 mm |
1,280 mm |
1,230 mm |
1,280 mm |
1,250.7 mm |
重復性 |
± 0.1 mm (晶圓中心) |
無塵度*1 |
ISO 1級 |
控制柜 |
D60/D61 (規格見無塵控制柜) |
*1: 于川崎的無塵間內測得