NS系列無(wú)塵機(jī)器人以其長(zhǎng)期現(xiàn)場(chǎng)使用證明其具有300mm晶圓搬運(yùn)所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操縱器運(yùn)動(dòng)功能，具有線性軸的可選長(zhǎng)度，以實(shí)現(xiàn)額外的FOUP伸展范圍。

SEMI F47合規(guī)

NS型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。

SEMI S2合規(guī)

NS型號(hào)可以滿足對(duì)環(huán)境和人身安全的特殊考慮。

碰撞檢測(cè)

軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測(cè)功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。

翻轉(zhuǎn)夾持軸

NS411型號(hào)有一個(gè)附加軸，用于在水平和垂直角度搬運(yùn)晶圓。

懸掛式安裝

NS511型號(hào)具有吊裝規(guī)格設(shè)計(jì)，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時(shí)滿足ISO 5級(jí)的要求。