川崎機器人 NT620 雙手臂無塵機器人

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店鋪基本資料信息

產品詳細說明

NT系列機器人

用于半導體、有機EL、LCD面板、太陽能面板

NT系列無塵機器人設計的目的是讓一個機器人可以伸展開來管護多達四個FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設計，以400晶片每小時（WPH）的速率來搬運300mm或450mm晶圓，而沒有使用校準器。

NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝，雙手臂

卓越的伸展距離

單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個。

高吞吐量

標準NT機器人的吞吐量是用校準器280晶圓每小時（WPH）與不用校準器400WPH。可用選配的抓手，增加吞吐量到700WPH。

SEMI F47合規

NT型號可以瞬時響應電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復時自動恢復運行。

SEMI S2合規

NT型號可以滿足對環境和人身安全的特殊考慮。

碰撞檢測

軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。

懸掛式安裝

NT620型號具有吊裝規格設計，用于在化學液體環境中使用，同時滿足ISO1級的要求。

NT系列寬廣的運動范圍使其能夠訪問主室，而不需要一個梭子或額外的機器人。

一個單個的NT系列機器人能夠不使用軌道而只用2到4個FOUP就訪問所有的EFEM。

型號		NT410	NT420	NT510	NT520	NT620
構造		水平多關節型
自由度		4 軸	5 軸	4 軸	5 軸	5 軸
運動范圍	θ1 軸 (旋轉JT2)	340°	340°	340°	340°	340°
	Z 軸 (上下JT3)	400 mm	400 mm	470 mm	470 mm	600 mm
	θ2 軸 (旋轉JT4)	340°	340°	340°	340°	340°
	H1 軸 (旋轉JT6)	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2
	H2 軸 (旋轉JT7)	-	340°	-	380°	380°
*大伸展距離		1,230 mm	1,280 mm	1,230 mm	1,280 mm	1,250.7 mm
重復性		± 0.1 mm （晶圓中心）
*無塵度1**		ISO 1級
控制柜		D60/D61 (規格見無塵控制柜)