NT系列無塵機器人設計的目的是讓一個機器人可以伸展開來管護多達四個FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設計,以400晶片每小時(WPH)的速率來搬運300mm或450mm晶圓,而沒有使用校準器。
NT系列機器人:
NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝,雙手臂
應用:
- 無塵室
- 卓越的伸展距離
- 單個的NT系列手臂可以伸展到四個FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個。
- 高吞吐量
- 標準NT機器人的吞吐量是用校準器280晶圓每小時(WPH)與不用校準器400WPH。可用選配的抓手,增加吞吐量到700WPH。
- SEMI F47合規
- NT型號可以瞬時響應電波動,如電壓下降,并且在電壓恢復時自動恢復運行。
- SEMI S2合規
- NT型號可以滿足對環境和人身安全的特殊考慮。
- 碰撞檢測
- 軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能,以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。
- 懸掛式安裝
- NT620型號具有吊裝規格設計,用于在化學液體環境中使用,同時滿足ISO1級的要求。
-
-