MFS2500D
實現(xiàn)潔凈室內(nèi)多層第8代超大型液晶玻璃基板箱體內(nèi)的高速搬運!
大型液晶玻璃基板搬運機器人
負載:60KG
動態(tài)范圍:2300mm
控制柜:DX100
用途:搬運、潔凈室
適用于第8代(2200*2500mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬運。
特點:
高速、穩(wěn)定搬運,提高生產(chǎn)效率。
高度柔性動作,大幅度削減配套設(shè)備費用。
長期保持高潔凈度,降低運營成本。
大幅縮短生產(chǎn)線建立時間。
*1:依據(jù)JIS B8432標準
*2:潔凈度依據(jù)ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風(fēng)速環(huán)境下,來確保工件搬運面以上潔凈度。
*3:根據(jù)用途、作業(yè)形式會有所不同。