大動作范圍：*大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。
手臂采用連桿機構實現高鋼性。
采用真空內傳送帶驅動實現低放出氣體性能。
手臂可內置基板傳感器用配線。

項目		規格	備注
名稱		SEMISTAR-VD95D
機型		XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜)
構造		水平多關節形(4個自由度)
動作范圍	L，R軸(伸縮)	2300mm
	S軸(旋轉)	-170°~+170°
	U軸(升降)	150mm
動作時間*1 (*高速度運作時)	L，R軸(伸縮)	3.2秒以下	2300mm伸縮距離
	S軸(回轉)	3.8秒以下	340deg旋轉距離(但L，R=0)
	U軸(升降)	2.5秒以下	150mm升降距離
重復定位精度*2		各軸±0.3mm	抓手安裝部分中心位置時
手臂抖動精度		±0.3mm以下	水平方向，抓手安裝部分中心位置時
負載		95KG/手臂	含抓手重量
容許慣性力矩(CD2/4)		*大118kg·m2	含抓手重量，抓手安裝部分中心位置時
耐真空度		1*10-6Pa
本體質量		1500kg
適用控制柜式樣		ERDR-VD0095D-A00	三相AC200V，3.0kVA

1：動作節拍不保證帶有基板時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產生共振時，會影響動作節拍，請重新設定。
2：依據JIS B8432標準的動作重復定位精度。但有無工件時負載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內。