本公司針對BROOKS維修，型號如下

　　BROOKS 擴散氮流量計 SLA5850S1BAB1C2A1

　　BROOKS 備件 GFD02A4BSM

　　BROOKS 壓力傳感器 GFD01G4BSM

　　BROOKS 質量流量控制器 SLA5850S1GAB1C2A1

　　BROOKS 量控制器 SLA5853 S2GAB2C2A1DBA

　　BROOKS 備件 SLA5850SE1DD1C2A1

　　BROOKS 空氣流量計 SLA5851S1TAB1B2A1

　　BROOKS 氣體質量流量計 SLA5853S2EDD2C2A1

　　BROOKS 流量計 1026NC032AA1C9C00001

　　BROOKS 附件 SLA5850S1GAB1B2A1

　　BROOKS 流量傳感器 SLAMF53S2HAB3G2A1

　　BROOKS 備件 SLA5860SH1AA0B2A1

　　BROOKS 電機 112W268200T,WP-DA112MR,4 kw,B3

　　BROOKS 流量計 5850E/B1A1B4B

　　BROOKS 備件 SHO-RATE 1355EZ32B

　　BROOKS 電子控制流量計 SLA5853S3AAB3C2A1

　　BROOKS 流量開關 1350GAK1BBJT1AAA

　　BROOKS 流量計 1355GAD3DBJT1AAA

　　BROOKS 電器件 SLA5850S1TAB1C2A1

　　BROOKS 氣體質量流量計 SLA5850P1AAB1C2A1

　　BROOKS 質量流量控制器 SLA5853S2GAB2C2A1,

　　BROOKS 備件 SLA5853S2HAB3C2A1

　　BROOKS 氣體流量控制器 SLA5860SB1DA0C2A1

　　BROOKS 轉子流量計 1306BBK111G00,1306B O-Seal,

　　BROOKS 流量計 SLA5853S2NAB2C2A1

　　BROOKS 備件 5850E/B1A1B4B0

　　BROOKS 備件 SLAMF60S1PAA0K2A2

　　BROOKS 質量流量計 SLA5850SB1BC1C2A1

　　BROOKS 壓力傳感器 GFD01G4BSM

　　BROOKS 質量流量計 SLA5863S2GAA0C2A1,,

　　BROOKS 流量計 5850EC4BS44B2A

　　BROOKS 壓力傳感器 GFD30A4BSM

　　BROOKS 流量傳感器 SLA5860P1HAA0C2A1

　　BROOKS CO2質量流量計 SLA5850S1BBC1C2A1

　　BROOKS 乙炔質量流量計 SLA5853S2NAB3C2A1

　　BROOKS 備件 SLA5853S2EDD3C2A1

　　BROOKS 備件 5850E/B1A1B2B0

　　BROOKS 質量流量控制器 GF125CXXC-0110001L-VXVO DX-0924AX-000

　　BROOKS 量流量計 SLA5853S2EAB3C2A1

　　BROOKS 備件 CMCAT1132BR

　　BROOKS 氣體質量流量計 SLA5850P1AAB1A2A1

　　BROOKS 備件 GFD10A4BSM

　　BROOKS 備件 SLAMF63S2NEA0K2A3

　　BROOKS 流量控制顯示器 0254AA2B11A,

　　BROOKS 流量控制器 SLAMF64S4DAA0Y2A1

　　BROOKS 氣體流量控制器 SLA5860S1BAA0C2A1

　　BROOKS 備件 SLA5850ST1AB1B2A1

　　BROOKS 備件 SLA5851S1ABC1C2A1

　　BROOKS 氣體質量流量計 SLA5850SG1DD1C2A1

　　BROOKS 量流量計 SLA5853S2EAB3C2A1

　　BROOKS 備件 SLA5860S1BCA0C2A1

　　BROOKS 備件 SLA5850S1TAB1B2A1

　　BROOKS 質量流控制器 SLA5853S2EAB2C2A1