產品描述
1、用于PERC太陽能電池和IBC太陽能電池
2、采用皮秒或超短脈寬納秒激光器
3、開膜圖形可自由設定:實線、虛線、圓點等
4、自動化程度高,產能達到3600pcs/h以上
5、采用柔性傳輸機構,碎片率低于0.5‰
6、標配自動上下料,可靠性高
7、內置除塵裝置,節省設備的占地面積
技術參數
薄膜厚度
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﹤200nm |
加工范圍
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180mm×180mm |
激光器
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532nm,納秒級(皮秒備選) |
硅片尺寸 |
156mm×156mm,兼容125mm×125mm |
UPH
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≥3600PCS,1mm線間距 |
Uptime
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≥98.5%,正常運行時間 |
MTBF |
≥250hours,平均無故障時間 |
MTTR
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≤12hours,平均恢復時間 |
Yield
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≥99.80%,滿產率
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碎片率
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≤0.5‰ |
開膜加工寬度
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30~60um |
開膜加工速度 |
≥20000mm/s |
線寬
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40±5um |
其他功能 |
1、可用于SIOx、ALOx與SINx膜層的消除
2、自動識別破片和未加工硅片
3、具有功率監控裝置
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應用領域
用于PERC太陽能電池和IBC太陽能電池