Azbil山武-熱式微小液體流量計

型號 F7M

本產品使用阿自倍爾在氣體流量計有著豐富積累的MEMS傳感器技術，結合耐腐蝕性高的石英玻璃流路，實現了 以往的測量方式難以達到的數mL/min的微小液體流量的瞬時/累計流量的高再現性測量。與傳統測量方式相比，不易受到流體狀態變化（氣泡、脈動、流體溫度等）的影響（根據情況可能需要修改設定),可簡單進行微小流量測量。通過測量流量，可以取代泵旋轉數的管理、重量測量、流體供給時間管理等替代性方案，從而實現更可靠的數據管理。

可測量數mL/min的微小流量

采用MEMS傳感測量技術的熱式測量原理，實現了以往技術難以 達到的「數mL/min」的微小液體流量測量
（***小測量值：0.1mL/min、10mL/min量程)

小巧輕量化、安裝簡單

與以往產品相比明顯更小巧輕便
使用內附的安裝支架 可從上方（水平配管時）簡單安裝
無需另配轉換器（放大器)
可安裝于垂直配管

直線流路

由于是直線流路，壓力損失小，且無積液 殘留，具有優異的清洗性。

不受安裝場所、 流體種類限制

符合IP65防護等級。
產品表面未使用任何金屬材料，可在有液體飛沫的環境 中使用，提高了對腐蝕性流體的耐受性。
由于接液部分是由石英玻璃（流路）和含氟樹脂（接頭） 構成，傳感器不接觸液體，因此可使用多種流體
(不腐蝕 石英玻璃和含氟樹脂的流體）。

測量原理

補償前和補償后的輸出特性

測量量程會受到流體的熱傳導率的影響而變化，但是使用補償功能可以調配輸出特性。

推薦應用例

目錄

使用說明書／自控資料

* 2012年3月之前的內容里，含有一部分舊名稱，敬請諒解。

智能裝載程序包 型號 SLP-F7M(以下稱為裝載器)是用于熱式微小液體流量計 型號 F7M(以下稱為機器)的簡易工程工具�？稍陔娔X上進行各種設定和監視。
本裝載器是在電腦的英文版Windows10(32位版、64位版)上運行的軟件。

裝載器的功能