三協雙臂真空搬運機器人SR8651參數：

真空度(Pa)：1.33×10-2；

自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；

動作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2400；

動作范圍「Z 軸」(㎜)：250/450；

可動范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；

***大速度「RR/RL軸」(㎜/sec）：3370；

***大速度「Z 軸」(㎜/s)：300；

***大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；

***大速度「重復精度」(㎜)：+/-0.2；

***大速度「噪音」(dB)：80 or less

***大速度「基板尺寸」(㎜)：～1100×1300 t=3.1～5.2/～1300×1500 t=0.5～1.1/～1500×925 t=0.5～1.1

三協雙臂真空搬運機器人SR8652參數：

真空度：1.33×10-2；

自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；

動作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2720；

動作范圍「Z 軸」(㎜)：465(Solar)/670(LCD)；

動作范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；

***大速度「RR/RL 軸」(㎜/sec)：2474；

***大速度「Z 軸」(㎜/s)：400；

***大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；

***大速度「重復精度」(㎜)：+/-0.2；

***大速度「噪音」(dB)：80 or less；

***大速度「基板尺寸」(㎜)：1100×1300 t=4～5(Solar)；

***大速度「基板尺寸」(㎜)：～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD)

真空機器人是一種能夠在真空環境下工作的機器人，主要應用于半導體和液晶工業中，實現晶圓或玻璃基板在真空腔室內的運輸。真空搬運機器人由于不使用氣體真空吸附系統和氣缸等，因此搬運時保持晶圓在機器手上的穩定比較困難。因此，此前只能以150～200枚/時的速度搬運晶圓。此次，通過改進保持晶圓穩定的真空內的夾具，即使高速搬運，機器手上的晶圓也不會錯位。這樣，可***大限度發揮真空機器人的搬運速度。三協真空機器人可以在10^-7 pa的真空環境下運行。耐溫達200工。此系列真空機器人大部分組件采用不銹鋼或熱膨脹系數相當的并且出氣率底的材料。