具有高速且穩定的響應性。
禁銅規格。
擁有豐富的接線方式。
可真空使用。
集裝型號：VV3Q11，VV3Q12

系列	形式	流量特性 2→3 (2→1) C［dm3/（ sbar）］	流量特性 2→3 (2→1) b	流量特性 2→3 (2→1) Cv	消耗功率（W）	可真空使用
VQ100	標準 大流量	0.083 0.14	0.28 0.25	0.021 0.036	1.0 0.5 (低功率型)	-100kPa