采用直線電機(jī)，使搬運(yùn)、推送和長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)小型化。
厚度：9mm，質(zhì)量：130g（行程10mm時(shí)）。
***大推力：6N。
重復(fù)定位精度：±5μm。
推進(jìn)測(cè)長(zhǎng)精度：±10μm。
***高使用頻率：500cpm。