帶有伺服隔膜的二位二通電磁閥和帶有介質分離部件的三通先導式閥，作用方式為 NC 和 NO。先導式閥中的介質分離部件，使得閥門也可被應用于具有輕微侵蝕性的介質（例如去離子水）。