產(chǎn)品概要：
● 適用于與Inconel® 或 Inconel/不銹鋼相容的氣體
● ***壓力范圍：0～10 Torr 至0～1000Torr，0～10 mbar/hpa 至0～1000mbar/hpa，0～2 psia 至0～20psia，0～2 kpa 至0～100kpa
介紹：
Setra Model 760 電容壓力計(jì)是為***的、可重復(fù)的真空測(cè)量而設(shè)計(jì)的壓力傳感器。滿量程范圍從10Torr 到1000Torr。測(cè)量單位可以是Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是15VDC，輸出0～10VDC 或0～5VDC，輸出與壓力成線性關(guān)系，而且與氣體成分無(wú)關(guān)。電氣連接件可以是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)15 針D 型插座或6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和ESD 抑制元件以及輸入輸出的RFI 過(guò)濾等技術(shù)，Model 760 具有卓越的EMI/RFI 性能。Model 760 有一個(gè)完整的滑面，很容易提供有***的零點(diǎn)調(diào)節(jié)和量程調(diào)節(jié)的多匝電位計(jì)。Inconel® 材質(zhì)適用于全部濕原料所以可測(cè)量腐蝕性氣體，另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。Model 760 中高精度的壓力傳感元件VactronSensor，是在Setra ***技術(shù)可變電容傳感技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展來(lái)的。在敏感元件中央有一個(gè)饋入裝置組件支持一個(gè)鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個(gè)低壓接近真空的空間內(nèi)組成了一個(gè)可變電容。這一電容的變化被Setra 獨(dú)特的集成電路檢測(cè)并被轉(zhuǎn)換成高精度的線性直流信號(hào)，該集成電路是根據(jù)西特***技術(shù)負(fù)荷平衡原理設(shè)計(jì)的。Model 760 采用革新的傳感設(shè)計(jì)獲得了卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結(jié)構(gòu)相似的電容式壓力計(jì)。
注：Setra 堅(jiān)持嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)ANSI-Z540-1。此產(chǎn)品的標(biāo)定源于NIST。
應(yīng)用：
·半導(dǎo)體過(guò)程工具和裝置
·實(shí)驗(yàn)室和研究開(kāi)發(fā)
·實(shí)驗(yàn)和測(cè)量
·度量
·分析化學(xué)系統(tǒng)
特點(diǎn)：
·卓越的熱穩(wěn)定性
·出眾的EMI/RFI 性能
·低價(jià)位
·小巧緊湊的結(jié)構(gòu)
·耐腐蝕的Inconel® 濕部件
·多種壓力連接和電氣連接方式
·符合CE 標(biāo)準(zhǔn)