日本山武azbil 藍寶石隔膜真空計 SPG5/6/7/8中文資料產品說明書
藍寶石隔膜真空計使用環境溫度范圍SPG5(標準型)
SPG5(標準型)：有自己加熱的機型10~45°C(35℃以上時需要0.5m/s以上的冷卻風)無自己加熱的機型0~60℃
SPG6(高溫環境對應型)：10~65℃(垂直安裝時)、10~70℃(水平安裝時)(45℃以上時需要0.5m/s以上的換氣風)
SPG7(結冰干燥用型)10~45C(35C以上時需要0.5m/s以上的冷卻風)
SPG8(高溫加熱型)有冷卻風 ( 0.5m/s以上)的場合10~55℃（垂直安裝時)、10~60°℃(水平安裝時)無冷卻風的場合10~35℃(垂直安裝時)、10~45C(水平安裝時)。
特點
采樣高耐腐蝕性、高耐熱性的單晶體藍寶石
感壓部材料采用具有高耐腐蝕性、高耐熱性、機械特性優異的單晶體藍寶石，通過靜電容量檢測方式，即使在高溫檢測環境下也可實現高的檢測重復性。
·檢測誤差小
采用先進的信號處理技術、實現了溫度特性、直線性等誤差小的檢測。
小型/輕量的本體
通過采用先進的顯微機械加工技術形成的藍寶石傳感器、實現了大幅度的小型/輕量化。
簡單的零點調整功能
通過Auto零點調整開關或Up/Down零點調整開關，可簡單地進行零點調整。
·機器狀態顯示
通過LED顯示，可一目了然地判斷產品的狀態（正常、預熱中、異常)。
迅速啟動和穩定的溫度控制
通過采用了微處理器的數字PID運算對加熱器進行溫度控制、實現了迅速啟動和穩定的溫度控制。
·智能編程器軟件包對應
智能編程器軟件包對應(另售SLP-SP5J70)可方便地進行監視和參數的讀寫。
·符合CE
符合EC指令、符合CE標識。(適合規格:EN61326、EN55011 )
藍寶石隔膜真空計 SPG系列采用了藍寶石靜電容量式壓力傳感器、是具有高精度、高可靠性、高耐腐蝕性的小型·輕量的隔膜真空計。主要用于半導體工藝流程。
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