安川機器人MFS2200D實現潔凈室內多層第6代超大型液晶玻璃基板箱體內的高速搬運！

大型液晶玻璃基板搬運機器人
負載：50KG
動態范圍：1780mm
控制柜：DX100
用途：搬運、潔凈室

*1：依據JIS B8432標準
*2：潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下，來確保工件搬運面以上潔凈度。
*3：根據用途、作業形式會有所不同。

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