大型液晶玻璃基板搬運機器人 負載:60KG 動態范圍:2300mm 控制柜:DX100 用途:搬運、潔凈室
*1:依據JIS B8432標準 *2:潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下,來確保工件搬運面以上潔凈度。 *3:根據用途、作業形式會有所不同。
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