產品描述：半導體材料氣體檢測

可檢測微量的半導體材料氣體泄漏，可對半導體工廠等使用毒性氣體的場所進行泄漏檢測，

也可對氫氣相關設備提供安全保障。

01.產品特點

·  小型·輕量

·  可以檢查非常微量的氣體泄漏

·  適合氫氣相關設備的安全防護

·  搭載的泵有自動停止功能

·  搭載[自動氣體排氣模式]功能

·  保護等級約為IP22（JIS C  0920）※安裝皮套時

02.產品用途

·  半導體工廠/石油化學工廠等

·  在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測

03.產品參數